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Pfeiffer 四級杆質譜分析儀 PrismaPlus
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Pfeiffer 四級杆質譜分析儀 PrismaPlus

殘余氣體分析質譜儀 PrismaPlus--四級杆質譜分析儀
上海伯東代理德国 Pfeiffer 殘余氣體質譜 QMG系列,模块化设计,质量数范围 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu。内置四极分析仪、四极电子装置、电源件和Quadera 软件。殘余氣體質譜 QMG系列離子源配備兩組燈絲,適用于多種測量用途,使用壽命長。
Pfeiffer 四極質譜儀 PrismaPlus 主要優勢:
1. 模组化设计提供了产品最好的适应性
2. 结构紧凑,性能出众
3. 多种介面,系统集成简单
4. 可通过乙太网网路化
5. 测试过程快速稳定,解析度高
6. 分析器以及电子的可替换性
7. 双灯丝设计保证最大的可靠性
8. 最低的可检测分压达1 x 10E-14 mbar
9. 配置Quadera®软体,操作直观
殘余氣體分析儀 PrismaPlus 技術參數:

型號

QMG 220 F1

QMG 220 F2

QMG 220 F3

QMG 220 M1

QMG 220 M2

QMG 220 M3

檢測器

法拉第 Faraday (F)

电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

质量数 amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四極杆直徑/長度

6/100 mm

最小检测极限 F mbar

1X10-12

2X10-12

4X10-12

5X10-12

1X10-11

2X10-11

最小检测极限 M mbar

-

-

-

1X10-14

< 2X10-14

< 4X10-14

对Ar的灵敏度 F A/mbar

1X10-3

6X10-4

3X10-4

5X10-4

3X10-4

1.5X10-4

对Ar的灵敏度 M A/mbar

-

-

-

200

200

100

最大工作压力 F

1X10-4 mbar

最大工作压力 M mbar

-

-

-

1X10-5

1X10-5

1X10-5

對臨近質量數的影響

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作温度 F

150 °C

烘烤温度 F

200 °C / 300 °C

連接法蘭

DN 40 CF-F

重量

2.4 kg

2.4 kg

2.4 kg

3.8 kg

3.8 kg

3.8 kg

                     

殘余氣體分析質譜儀应用四極質譜儀 QMG非常適合于檢漏,殘氣分析以及綜合定量分析
1. 冶金 2. 真空炉 3. 加速器 4. 溅射工艺分析 5. 半导体生产 6. 玻璃镀膜 7. 研发 8. 真空工艺

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普发质谱应用

1.設計緊湊
PrismaPlusTM是新型定量定性氣體分析和檢漏的質譜儀。該四極質譜儀积累了丰富的应用经验,高灵敏度,高稳定性和智慧化操作的完美结合是 PrismaPlusTM 四極質譜儀新的優點。在適用中客戶將感受到它堅固,緊湊的設計和簡單的系統集成,並從中受益。
2.應用範圍廣闊
通过可选择质量数范围,檢測器、离子源和介面介面等,该四極質譜儀可以應用于多個領域,例如:工業和分析領域、研發、檢漏、半導體生産以及鍍膜工藝等。PrismaPlusTM 四極質譜儀是從品質保證,殘氣分析直至綜合的定量分析工作等應用領域的最佳方案。
3.檢測速度快,靈敏度高
PrismaPlusTM 四極質譜儀可 以在三个不同的质量数范围(1-100,1-200,1-300 amu)内,下至检测极限1*10-14 mbar 情况下给出精确的检测结果。在真空系统中,配合有效的法拉, 第和电子倍增检测仪,即使很低程度的污染也可以被快速地识别出来。除显示可选择的分压外,直接增加一个压力量规,PrismaPlusTM 四極質譜儀就可以作爲一個精確的全壓監控器使用。
4.智慧化的軟體
Quadera 软体不仅操作简单,它还提供了捕获和观察所有测试资料以及参数记录的易读平台。结合多种可供选择的介面介面,例如乙太网,数位式和类比式输入输出,可以方便地集成到各种系统中去。轻点滑鼠就可以启动预设的功能。
 

PrismaPlusTM 四極質譜儀尺寸及配件:


Pfeiffer 氣體質譜分析儀:上海伯東真空产品事业部是德国 Pfeiffer 指定銷售維修中心,我司是國內最早代理 Pfeiffer 产品的公司,100% 原装进口并提供 Pfeiffer 全系列真空产品的售後維修服务。

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