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氦質譜檢漏儀用于电磁阀,直通阀检漏
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氦質譜檢漏儀用于电磁阀,直通阀检漏


應用十五、氦質譜檢漏儀用于電磁閥檢漏

德国Pfeiffer HLT 560 氦質譜檢漏儀用于電磁閥閥芯檢漏應用案例—深圳某事業有限公司

一、 电磁阀阀芯检漏原因:
该客户是为日本某半导体设备厂生产精密零件镭射焊接(电磁阀阀芯),一共有5个型号,月产量2000-3000个阀. 精密零件镭射焊接(电磁阀阀芯)产品如下图:

 

二、 电磁阀阀芯检漏方法
大概的檢測過程爲:來料用放大鏡目視檢測,鐳射焊接完成後再目視檢測,最後用氦氣質譜檢漏儀做最後檢測,漏率值以氦氣檢漏儀測出的資料爲准.

客户以前用的是日本某品牌的檢漏儀,现在新上的项目都改为德国Pfeiffer的HLT 560这一款檢漏儀,这是因为,只有德国Pfeiffer的HLT 560能满足这么高的漏率值测试,且资料可靠.另外还具有操作简单,生产效率高的优点.

三、電磁閥閥芯檢漏操作說明

由于半导体工业上用的气体如矽烷( SiH4), 氨气(NH3)等等都是有毒或有腐蚀性的气体,所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求成品最终漏率低于5-10 mbar l / s, 而这样的漏率要求也只有氦質譜檢漏儀能達到了.
1),先將閥接入工裝,形成一個密閉的腔體.再將檢漏儀連接到工裝上.
2),啓動氦質譜檢漏儀, 檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體,同時顯示一個漏率值.
3),在鐳射焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣,同時觀察檢漏儀上顯示的漏率值有無變化.
4),如果漏率值上升,說明噴氦氣的地方有漏,該被檢對象品質不合格.如果漏率值能達到要求,該被檢物件合格,檢漏檢測完成.

應用十六、氦質譜檢漏儀用于直通閥檢漏

一、閥門檢漏需求

阀门的密封性能是考核阀门品质优劣的主要指标之一. 所以在设计生产阀门时就
要提高其密封性能, 并且在出厂前最后一道工序应对阀门做密封性检测. 目前国内
许多阀门厂家使用水检法和气压法进行气密性检测, 但是使用此方法只能检到漏孔
比较大的情况, 一般最小可检漏率1X10E-3 mbar l/s. 但随着客户对产品品质要求
的不断提高, 水检法和气压法已经无法满足要求. 为了保证产品竞争, 许多厂家引
進了氦氣檢漏儀, 对于目前常用的检漏方法, 氦气检漏法被公认为最先进可靠的方法之一.
而德國Pfeiffer 氦質譜檢漏儀具有體積小、重量輕、內部模組化設計、檢測維修方便、
使用簡單、一鍵式操作等優點受到廣大客戶的青睐.

上海阀特流体主要生产销售各种自动控制阀门, 部门产品出口到国外. 如下图所示
为该司生产的直通阀, 用于有毒气体设备, 为了作业人员安全及避免环境污染, 客户
要求出廠前對閥門做氣密性檢測.

二、閥門檢漏方法
Pfeiffer HLT 系列氦質譜檢漏儀同时拥有两种检漏模式, 真空模式 (vacuum mode)
及正压模式 (sniffer mode), 可根据客户不同需求, 选择不同的检漏方法. 阀门多
采用檢漏儀的负压模式既真空模式检漏, 其最小可检查漏率为5X10-12 mbar l/s.

三、閥門檢漏操作
1. 如下图所示, 工作人员用波纹管连接待检测的直通阀与德国Pfeiffer HLT 560
氦質譜檢漏儀.





2. 启动DUO 旋片泵, 直通阀抽真空, 同时启动氦質譜檢漏儀并显示一个漏率值. 当旋片泵
抽真空到达一定真空度(最高背压为 25 mbar业界最高)时, 可以进行检漏操作.

3. 如下图工作人员向直通阀密封处和怀疑有漏的地方喷氦气, 同时观察檢漏儀上显示的
漏率值有無變化.



4. 如果漏率值上升, 说明喷氦气的地方有漏, 该被检对象品质不合格. 如果漏率值能
达到要求, 该被检物件合格, 检漏检测完成.

 

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