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渦輪分子泵 HiPace 2800 IT
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渦輪分子泵 HiPace 2800 IT

渦輪分子泵 HiPace 2800 IT
上海幸运飞艇网站德国 Pfeiffer 新推出离子注入系统专用渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT.
在离子注入系统中, 氢气等小分子气体的抽速非常重要, 此款渦輪分子泵精巧的转子设计保证小分子气体绝佳的抽速, 确保了针对离子注入工艺的最佳工艺适应性, 渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 针对氫氣抽速高达 2600 l / s, 是同级别分子泵中佼佼者.

渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 采用智能温度管理系统, 减少泵系统内部的工艺冷凝和沉积, 该系统允许单独设置温度, 确保渦輪分子泵能够最佳地适应工艺需求. 镀镍转子确保泵本身耐用性.

渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 産品優勢
1. 氫氣抽速高达 2600 l / s
2. 镀镍转子更耐用
3. 采用智能温度管理系统,能自适应工艺条件, 减少泵内冷凝和沉积
4. 使用寿命更长

渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 技術參數

法蘭(進氣端)

DN 250 ISO-F

法蘭(出氣端)

DN 40 ISO-KF

排氣連接

G 1/8“

氮氣抽速

2,300 l/s

氩氣抽速

2,100 l/s

氦氣抽速

2,900 l/s

氫氣抽速

2,600 l/s

轉速

±2 % 27,300 rpm

運行時間

8.6 min

在全轉速情况下的氮气气流量

16 hPa l/s

在全轉速情况下的氩气气流量

11 hPa l/s

在全轉速情况下的氢气气流量

50 hPa l/s

在全轉速情况下的氦气气流量

24 hPa l/s

氮氣壓縮比

> 1X108

氩氣壓縮比

> 1X108

氦氣壓縮比

6X104

氫氣壓縮比

4X103

氮氣最大前級真空

0.8 hPa

根据 PNEUROP 的极限压力

< 1X10-7 hPa

重量

62 kg

冷卻方法

冷卻水耗量

100 l/h

冷卻水溫度

15 – 25 °C

接口

E74, RS-485

最大允許磁場

3.4 mT

聲壓水平

< 50 dB(A)


渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 適用領域: 离子注入机, 苛刻工艺

渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT尺寸
渦輪分子泵 HiPace 2800
渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 在售型號

型號

訂貨號

HiPace 2800 IT

PM P05 241

HiPace 2800 IUT

PM P05 246


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