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電子束蒸發鍍膜機 E-Beam
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電子束蒸發鍍膜機 E-Beam

電子束蒸發镀膜 E-Beam
上海幸运飞艇网站代理 AdNaNo 铠柏科技 E-Beam 電子束蒸發鍍膜機 ( 电子蒸镀 ), 最大真空度可达 5E-10 torr, 提供客制化服务.

電子束蒸發

 推薦設備型號: EBS-150
 标准的设计, 左边 load lock 腔体, 包含氧化和蚀刻过程; 
 右邊沈積腔內含一個電子束, 適用于約瑟夫森結,
 特性:
 真空度 5E-8 torr
 最大 8inch 样品
 基本可倾斜 / 旋转
 可选 IBAD
 全自動
 腔室水冷

 

電子束蒸發

 型号 EBS-150 UHV
 特性:

 真空度 5E-10 torr
 最大 6inch 样品
 基本可倾斜 / 旋转
 可选 IBAD
 全自動
 腔室水冷

 

電子束蒸發

 型号 EBS-300 Dual
 特性:

 真空度 5E-7 torr
 行星機械手
 双 E-gun
 全自動加工
 軟件控制


E-Beam 電子束蒸發适用于
Lift-off 工艺
HMET, PHMET 晶体管
Ohmic and Schottky contacts on GaN 氮化镓基片欧姆和肖特基接触
IR waveguides 红外波导
Thermal barriers 热障
Magnetic materials for microwave applications 磁性材料微波应用
MEMS 封装
超導隧道結


上海幸运飞艇网站代理 AdNaNo 铠柏科技制造的超导结制备用电子束蒸镀设备, 铠柏鍍膜機专精于金属及氧化物薄膜的制备, 可用于超导量子实验室制备超导结 ( 量子比特和约瑟夫森结 ) 和量子器件, 可以制备大面积, 高稳定性和可重复性超导结. AdNaNo 電子束蒸發设备提供客制化服务, 满足各类不同真空系统整合需求!

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