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Pfeiffer 普发镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220
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Pfeiffer 普发镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220

Pfeiffer 普发镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220
上海幸运飞艇网站德国普发 Pfeiffer 真空镀膜工艺气体分析质谱 SPM 220 专为镀膜工艺过程中的气体监测设计研发,在高达 10-2 hPa 的压力下,精确到分钟的定性和定量分析工艺气体。
镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 组成:渦輪分子泵+四級杆質譜+離子源
Pfeiffer 普发镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220

镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 优势:
鍍膜工藝監測器離子源,適用于瞬時過程監測
对气体H2、O2、H2O 和 CO2 优秀检测极限
對測量結果的最小化背景影響
压力高达 10 hPa 的压差版本
多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
緊湊設計,易于系統集成
通過各種數字和模擬輸入和輸出
Pfeiffer监测质谱 SPM 220 技术参数:

SPM 系统控制

BRU 220

電壓

115-230 V

前級泵

MVP 020-3

四極控制

QME 220

带 SPM 离子源的分析仪

QMA 220

探測器

C-SEM/Faraday

杆系統:材料

不鏽鋼

杆系統:直徑

6 mm 

杆系統:長度

100 mm 

檢測極限(氩中):二氧化碳

< 100 ppb

檢測極限(氩中):氧氣

< 100 ppb

檢測極限(氩中):氮

< 100 ppb

檢測極限(氩中):水

< 3000 ppb

檢測極限(氩中):水蒸气

< 500 ppb or < 6000 ppb

渦輪分子泵

带有 TC 110 RS 的 HiPace 80

質量數

 

1-100 amu or 1-200 amu

過程壓力至

1 hPa or 10 hPa or 8hPa

連接法蘭(入口)

DN 40 CF-F

重量

13 kg 

 

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