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幹式真空泵 A 100 L,A 200 L
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幹式真空泵 A 100 L,A 200 L

幹式真空泵 A 100 L-A 200 L
上海伯東銷售維修 Pfeiffer 幹式真空泵(多级罗茨泵)A 100 L-A 200 L,用于洁净制程的整體式幹泵,緊湊設計,大抽速,低能耗,滿足半導體行業機台內直接安裝和快速抽空的設計要求,是load-lock、傳送腔及其他非腐蝕性工藝的完美解決方案。Pfeiffer 幹式真空泵 A 100 L排除了泵安装中的真空管路影响,通过使用 Pfeiffer 整體式幹泵,可降低真空管路安裝、集成和調試的成本。Pfeiffer 幹式真空泵 A 100 L高可靠性和长期稳定性使其脱颖而出,现已广泛应用于全世界范围内的 300 mm 半导体工厂。

幹式真空泵 A 100 L-A 200 L平均故障间隔时间超过 195000 小时,提供干燥无尘的洁净真空,适合在无尘室中使用,整體式幹泵也爲太陽能光電設備提供最佳解決方案。低噪音和低振動是該水冷型幹泵的其他優勢,小巧的體積保證了其在大型機台內集成的便利性,是各大設備廠商首選。

幹式真空泵 A 200 L是针对高气流量应用的全新解决方案,抽速200 m3/h,再次展示出了其在整體式幹泵市場中全球領導地位。

上海幸运飞艇网站 Pfeiffer 幹式真空泵 A 100 L-A 200 L 主要优点
高氣流量,大抽速
結構緊湊,占地面積小
易于集成,運行成本低
低噪音和低震動,無油無塵
即插即用系統:集成型監察裝置
幹式真空泵 RS232 / RS485 接口可选

Pfeiffer 幹式真空泵 A 100 L-A 200 L 應用行業
Load-lock 和传送腔
半導體生産
光伏
工業(低溫,氣體制造,激光源)
分析儀(用于電子顯微術或表面分析的閘室)

Pfeiffer 幹式真空泵 A 100 L-A 200 L 技術參數

型號

进气口尺寸 DN

极限压力 hPa

抽速

噪音比

重量

m3/h

dB (A)

kg

A 100 L

50

6.6 X 10-3

100

58

100

A 100L ES

50

7 X 10-4

100

55

100

A 200 L

50

8 X 10-3

200

58

100

L:標准版本    ES:節能版本

幹式真空泵 A 100 L 標准版本
冷却水循环,在前端配置运行时间记录仪和三色 LED 指示灯时时显示泵当前状态。
主要在售型號:
A 100 L 標准版本,低电压,16 针 I/O
A 100 L 標准版本,低电压,19 针 I/O
A 100 L 標准版本,低电压,RS232/485 接口,16 针 I/O
A 100 L 標准版本,低电压,RS232/485 接口,19 针 I/O
A 100 L 標准版本,高电压,16 针 I/O
A 100 L 標准版本,高电压,19 针 I/O
A 100 L 標准版本,高电压,RS232/485 接口,16 针 I/O
A 100 L 標准版本,高电压,RS232/485 接口,19 针 I/O

A 100 L ES 節能版本
緊湊型幹泵集成节能模块,有效减少了 50% 的耗电量。冷却水循环,在前端配置运行时间记录仪和三色 LED 指示灯时时显示泵当前状态。  

主要在售型號:
A 100 L ES 節能版本,低电压,16 针 I/O
A 100 L ES 節能版本,低电压,19 针 I/O
A 100 L ES 節能版本,低电压,RS232/485 接口,16 针 I/O
A 100 L ES 節能版本,低电压,RS232/485 接口,19 针 I/O
Pfeiffer 幹式真空泵 A 100 L-A 200 L 抽速圖
幹式真空泵

Pfeiffer 幹式真空泵 ACP:上海伯東真空産品事業部是德國 Pfeiffer 指定銷售維修中心,我司是國內最早代理 Pfeiffer 产品的公司,100% 原装进口并提供 Pfeiffer 全系列真空产品的售後維修服务。

 

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