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氦質譜檢漏儀 MOCVD 设备检漏
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氦質譜檢漏儀 MOCVD 设备检漏

上海幸运飞艇网站德国 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 MOCVD 设备检漏
上海幸运飞艇网站客户厦门某大型 LED 生产企业,近日成功采购6台氦質譜檢漏儀 ASM 340 用于 MOCVD 设备检漏。
MOCVD 是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。因为 MOCVD 生长使用的源是易燃、易爆、毒性很强的物质,因此在设备出厂时必须要考虑密封性,否则一旦有毒物质泄漏,后果不堪设想!
上海幸运飞艇网站客户某大型 LED 生产企业 MOCVD 设备检漏实例:
MOCVD 需要检漏位置:所有怀疑有漏的地方都需要进行检漏,主要检漏源供给、输运和尾气处理系统(例如管路接头、管道、焊缝等位置)。
根据客户实际需要,MOCVD 检漏基本配置:氦質譜檢漏儀 ASM 340 +幹式真空泵 ACP 28 如下图所示:
幸运飞艇网站Pfeiffer MOCVD設備檢漏

MOCVD設備檢漏方法:采用真空模式檢漏
1. 将设备通过波纹软管连接檢漏儀 ASM 340,確認連接完畢
2. 启动 ASM 340,进入待机界面;初次启动时间大约 3min,以后启动 < 1min
3. 按下开始键,先通过 bypass 阀门启动幹式真空泵 ACP 28抽真空,到达一定压力檢漏儀 ASM 340开始工作,同时在设备怀疑有漏的地方喷氦气;若有漏,檢漏儀馬上報警,顯示該噴射點有漏。
4. 检测完毕,按下檢漏儀待機鍵,放氣、關閉電源,移除連接管路。
* 鉴于信息保密,更详细的MOCVD設備檢漏方法欢迎致电 021-5046-3511

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