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氦質譜檢漏儀半導體設備及材料檢漏
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氦質譜檢漏儀半導體設備及材料檢漏

氦質譜檢漏儀半導體設備及材料檢漏應用
真空设备在半導體行业中的應用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备(ICP,RIE,PECVD),热处理设备(合金炉,退火炉),掺杂设备(离子注入机等)这些真空设备作为半導體技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。上海幸运飞艇网站德国 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀现已广泛應用于半導體设备檢漏。
半導體設備及材料需要檢漏原因
1、半導體设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半導體的特性改变并破坏其性能,因此在半導體器件生产过程中必须进行氦质谱檢漏
3、一些半導體设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过氦质谱檢漏後,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設備能及時抽走未反應氣體和氣態反應産物,保障工作人員安全和大氣環境。
4、芯片封裝,一旦出現泄漏,芯片就會失效。
综上所述,上海幸运飞艇网站德国 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀在半導體行业起着至关重要的作用。
氦質譜檢漏儀半導體設備及材料檢漏應用

半導體設備及材料檢漏方法:

半導體氦质谱檢漏有兩種方法

1.真空法   2.吸枪法
上海幸运飞艇网站客户某大型半導體厂商使用德国 Pfeiffer 吸枪便携式氦質譜檢漏儀 ASM 102 S檢漏。
氦質譜檢漏儀半導體設備及材料檢漏應用
氦質譜檢漏儀半導體設備及材料檢漏應用
吸枪便携式氦質譜檢漏儀 ASM 102 S
主要優勢
高灵敏度:1x10-7 mbar.l/s或0.1 ppm的氦气。高水平的解决方案带来高诊断性和高灵敏性的测试 
测试范围广:从0.1 ppm到100 %氦气
氦質譜檢漏儀快速反应时间:一秒钟内(使用5 m/16 ft吸枪探头)
快速的恢複時間
傑出的穩定性:氦氣的信號穩定性對小型漏點檢測十分關鍵。
氦質譜檢漏儀3种示踪气体选择:使氦气(He3)与氢气(H2)檢漏成为可能。
通過自動清零(忽略本底)功能使氦氣背景信號增強,確保氦氣信號始終保持在零以上。
卓越的特性加上電子時代的最新標准
語音分析器增添操作界面的功能
1號與2號燈絲獨立連接,方便分別更換。
氦質譜檢漏儀便攜性:便于運輸(幹泵系統)、所有附件均內置在一個隔間,並可通過簡單連接進行操作。
使用方便:熟悉ASM102S的操作只需簡單的幾分鍾時間:自動校准、自動清零(忽略本底)功能使敏感度更高、氦信號直接讀出功能,無須操作者進行釋讀。

上海伯東主營産品:德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵幹式真空泵羅茨真空泵旋片真空泵;應用于各种真空环境下的真空計氦質譜檢漏儀質譜分析儀以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源美国 HVA 真空閥门Polycold 冷冻机等。

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