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分子泵蒸發鍍膜,電子束蒸發鍍膜設備應用
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分子泵蒸發鍍膜,電子束蒸發鍍膜設備應用

應用七:德國普發 Pfeiffer 分子泵 蒸發鍍膜設備應用
上海幸运飞艇网站近日成功销售 pfeiffer 分子泵于无锡某柴油机喷油针阀生产商。

蒸发镀膜过程中,从膜材表面蒸发的粒子以一定的速度在空间沿直线运动,直到与其他粒子碰撞为止。在真空室内,当气相中的粒子浓度和残余气体的压力足够低时,这些粒子从蒸发源到基片之间可以保持直线飞行,否则,就会产生碰撞而改变运动方向。为此,增加残余气体的平均自由程,以减少其与蒸发粒子的碰撞几率,把真空室内抽成高真空是必要的。当真空容器内蒸发粒子的平均自由程大于蒸发源与基片的距离时,就会获得充分的真空条件。蒸发粒子的平均自由程必须远远大于蒸距才能避免蒸发粒子在向基片迁移过程中与残余气体分子发生碰撞,从而有效地减少蒸发粒子的散射现象。目前常用的蒸发鍍膜機的蒸距均不大于50 cm。

因此,如果要防止蒸發粒子的大量散射,在真空蒸發鍍膜設備中,真空鍍膜室的起始真空度要求較高的情況下真空系統的抽氣能力和其在不同真空度條件下的穩定性就成了影響鍍膜質量的關鍵因素之一,分子泵組逐漸取代了擴散泵組成爲最普遍的真空系統,而德國普發 Pfeiffer 作爲全世界第一台分子泵的發明者,所生産的分子泵以其優越的性能和品質一直在是世界真空舞台中獨領風騷。
 

客戶案例:無錫某柴油機噴油針閥生産商,乃全世界柴油制造的領軍者,伯東公司作爲德國普發 pffeifer分子泵的代理商以卓越的服務贏得客戶的好評。


應用八:伯東Pfeiffer分子泵應用于電子束蒸發鍍膜系統

上海幸运飞艇网站德国 Pfeiffer 分子泵成功應用于電子束蒸發鍍膜系統電子束蒸發是真空蒸鍍的一種方式,它是在鎢絲蒸發的基礎上發展起來。電子束是一種高速的電子流。電子束蒸發是目前真空鍍膜技術中一種成熟且主要的鍍膜方法,它解決了電阻加熱方式中膜料與蒸鍍源材料直接接觸容易互混的問題。

電子束蒸發法是在真空條件下利用電子束進行直接加熱蒸發材料,使蒸發材料氣化並向基板輸運,在基底上凝結形成薄膜的方法。常見于半導體科研工業領域。利用加速後的電子能量打擊材料標靶,使材料標靶蒸發升騰。最終沈積到目標上。伯東Pfeiffer渦輪分子泵憑借超長使用時間,清潔無油,易維護等優點成功應用于電子束蒸發鍍膜系統。電子束蒸發廣泛應用于家電電器、鍾表、燈具、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表面裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層。

上海伯東客戶案例:某大学微电子学系 电子束蒸发镀膜系统
1.系統功能:生長半導體材料,金屬膜,Mn氧化物膜。
2.真空度要求:5x10-7 mbar
3.基片尺寸:≤Ф12英寸    
4.電子槍功率:5-10KW
5.襯底溫度:350℃          
6.溫度均勻性:±10℃       
7.樣平台轉速:≤20r/min    
8.坩埚數量:4 
9.鍍膜均勻性:±5%(Al)  
10.控制系統:PC+PLC全自動控制
電子束蒸發鍍膜系統配置上海伯東 Pfeiffer 分子泵:
1.分子泵 Hipace 2300*2
2.真空計 PKR 251*2+TPG 261*2
伯東Pfeiffer分子泵應用于電子束蒸發鍍膜系統

伯東Pfeiffer分子泵應用于電子束蒸發鍍膜系統

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