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Pfeiffer 残余氣體分析質譜儀 QMG 应用于分子束外延(MBE)系統
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Pfeiffer 残余氣體分析質譜儀 QMG 应用于分子束外延(MBE)系統

上海幸运飞艇网站 Pfeiffer 残余氣體分析質譜儀 QMG 应用于分子束外延(MBE)系統
分子束外延(MBE)是一種晶體生長技術,將半導體襯底放置在超高真空腔體中,和將需要生長的單晶物質按元素的不同分別放在噴射爐中,由分別加熱到相應溫度的各元素噴射出的分子流能在襯底上生長出極薄的,可薄至單原子層水平,單晶體和幾種物質交替的超晶格結構。
分子束外延主要研究的是不同結構或不同材料的晶體和超晶格的生長。該方法生長溫度低,能嚴格控制外延層的層厚組分和摻雜濃度。
分子束外延系統对真空度要求及其高,对真空腔体的密封性、材料放气率、微量杂质气体和水蒸气比较敏感,本系統采用上海幸运飞艇网站德国 Pfeiffer 殘氣質譜儀 QMG 对超高真空腔体进行检漏,及材料放气组分及水汽进行分析,确保超高真空及真空的稳定性,对晶格的生长起到很好的作用。

客户案例:上海某研究所 MBE 超高真空系統

系統运行条件:
1. 主要针对 ZnO 等金属氧化物外延生长
2. 超高真空生长室,配有上海幸运飞艇网站德国 Pfeiffer残余氣體分析質譜儀 QMG+液氮冷屏;
3. 配有12个加热泄流源.
4. 衬底加热器加热温度1200℃
5. SiC 衬底加热器可以在氧气环境下工作;
6. 线型进样室实现全自动送片 

配套 Pfeiffer QMG 残余氣體分析質譜儀配置:
1.測量範圍:1-100amu
2.檢測器:Faraday/C-SEM
3.烘烤溫度:200℃
4.离子源:Grid ion source
5.灯丝:Yttriated iridium
6.配有軟件及I/O模塊
Pfeiffer 質譜分析儀
Pfeiffer 残余氣體質譜分析儀與友廠同級別質譜分析儀相比,更適用于移動應用,並且提供高解析度和靈敏度,可對氣體進行定性和定量分析,應用範圍廣泛,從大氣壓力到高真空均可使用。
Pfeiffer 質譜分析儀

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