上海幸运飞艇网站真空产品事业部搬迁通知

渦輪分子磁控濺射抽真空
阅读数: 6312

渦輪分子磁控濺射抽真空

上海幸运飞艇网站代理德国普发 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700 成功应用于宁波某研究所磁控溅射(Megnetron Sputtering)系统.宁波某研究所磁控溅射(Megnetron Sputtering)系统用于光刻胶片上溅金属铬,铜,钛.其中材料生长腔工作真空度要求 < E-7 hPa,能做到4英寸片,3靶位,可实现编程镀膜.材料生长腔对渦輪分子泵的要求较高,老师在考量了德国普发 Pfeiffer Hipace 700 渦輪分子泵和爱德华 Edwards STP603 分子泵後,因爲對分子泵的压缩比要求较高,最终选择了德国普发 Pfeiffer 分子泵.
 Pfeiffer 渦輪分子泵
-------宁波某研究所磁控溅射系统加装 Pfeiffer 渦輪分子泵-----

德国普发 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700 主要优点:
1.高压缩比 >1x1011
2.使用壽命長
3.渦輪分子泵真空度高且稳定 < E-7 hPa
4.大抽速 (N2) 685 l/s
5.与爱德华 Edwards STP603 相比,更大压缩比,真空度高且更稳定
值得一提的是,德国普发 Pfeiffer 渦輪分子泵广泛应用于国际知名的磁控溅射厂商,如美国 SVTA,芬兰 DCA,北京汇德信等.
Hipace 700

宁波某研究所磁控溅射(Megnetron Sputtering)系统,同时使用上海幸运飞艇网站德国普发 Pfeiffer 真空規 PKR 251 测量腔体真空度,美国 HVA6'S 真空閥门和德国普发 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 ASM 340 检漏腔体.

上海幸运飞艇网站德国普发 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 系列产品抽速范围 10 l/s 至 2300 l/s,转子速率可达90000rpm。更有渦輪分子泵组 Hicube 系列和全磁浮渦輪分子泵 ATH 系列供选择已满足不同应用。Pfeiffer 渦輪分子泵更獲得歐洲工業設計最高獎“紅點獎”.

 

其他産品