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KRI 考夫曼霍尔離子源光学蒸镀鍍膜機应用
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KRI 考夫曼霍尔離子源光学蒸镀鍍膜機应用

伯東公司 KRI 考夫曼霍尔離子源光学蒸镀鍍膜機应用

常见蒸镀机台与对应 KRI 霍尔離子源型號:

蒸鍍機台尺寸

KRI 離子源

~1100mm

eH1010

1100~1400mm

eH1010, eH1020

1400~1900mm

eH1020, eH3000


離子源


KRI 考夫曼霍尔離子源 controller 自动化控制及联机自动化设计,提供使用者在操作上更是便利。

離子源


KRI 考夫曼霍尔離子源 Gun body 模块化之设计、提供使用者在于基本保养中能够降低成本及便利性。

離子源


伯東公司客户 1400 mm 蒸镀鍍膜機安装 KRI考夫曼霍尔離子源 EH1020 F,应用于塑料光学镀膜

離子源
離子源

離子源


KRI 考夫曼霍尔離子源 EH1020 主要参数:

Filament Controller

Discharge controller

Gas controller

17.2A/ 22V

150V/ 4.85A

Ar/ 32sccm

離子源


利用 KRI 考夫曼霍尔離子源辅助镀膜及無離子源辅助镀膜对镀膜质量之比较:

 

KRI EH1020 辅助镀膜

無 Ion Source 辅助镀膜

鹽水煮沸脫膜測試

破壞性百格脫膜測試

光學折射設率

膜層致密性

膜層光學吸收率

制程腔體加熱溫度

生産成本

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 






KRI 考夫曼霍尔離子源系列主要型號包含:

 

離子源 eH200

 離子源 eH400

離子源 eH1010

離子源 eH1020

離子源 eH3000

Cathode

Filament or Hollow cathode

Filament or Hollow cathode

Filament or Hollow cathode

Filament or Hollow cathode

Hollow cathode

Water Cooled Anode

no

no

no

yes

no

Discharge Currentmax

2 A

3.5 (7) A

10 (7) A

10 (20) A

20 (10) A

Discharge  Voltagemax

300 V

300 (150) V

300 (150 ) V

300 (150) V

250 (300) V

Discharge  Voltagemin

40* V

40* V

40* V

40* V

40* V

Divergence (hmhw)

45°

45°

45°

45°

45°

Height (nominal)

2.0”

3.0”

4.0”

4.0”

6.0”

Diameter (nominal)

2.5”

3.7”

5.7”

5.7”

9.7”

 

伯東公司主要經營産品德国 Pfeiffer涡轮分子泵, 幹式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的真空测量(真空计, 真空规管);氦質譜檢漏儀質譜分析儀;真空系統以及 Cryopump 冷凝泵/低溫泵, HVA 真空閥门, Polycold 冷冻机美国KRI Kaufman 考夫曼離子源(離子槍)

 

若您需要進一步的了解詳細信息,請與我們聯系:

TEL: 86 (021) 50463511转106

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