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KRI 考夫曼霍尔離子源应用于离子刻蚀 IBE
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KRI 考夫曼霍尔離子源应用于离子刻蚀 IBE

離子源应用于离子刻蚀 IBE
上海幸运飞艇网站代理美国考夫曼 KRI 離子源, 其产品霍尔離子源 EH400 HC 成功应用于离子蚀刻 IBE.
霍尔離子源离子抨击能量强, 蚀刻效率快, 可因应多种基材特性, 霍尔源单次使用长久, 耗材成本极低, 操作简易, 安装简易, 因此美国考夫曼霍尔離子源廣泛應用于蝕刻制程及基板前處理制程.

霍尔離子源客户案例一: 某大学天文学系小尺寸刻蚀设备
系统功能: 对于 Fe, Se, Te ,PCCO 及多项材料刻蚀工艺.
样品尺寸: 2英寸硅芯片.
刻蚀设备: 小型刻蚀设备. 选用上海幸运飞艇网站美国考夫曼品牌霍尔離子源 EH400 HC
上海幸运飞艇网站離子源 EH400HC
霍尔離子源 EH400HC 安装于刻蚀腔体内
上海幸运飞艇网站美国考夫曼離子源
離子源 EH400HC 自动控制单元
上海幸运飞艇网站美国考夫曼離子源控制器
霍尔離子源 EH400HC 通氩气
離子源通氩气
对于 FeSeTe 刻蚀应用, 霍尔離子源 EH400HC 条件: 110V/1.5A, 刻蚀速率 >20 A/Sec
上海幸运飞艇网站考夫曼離子源蚀刻速率
对于 FeSeTe 刻蚀应用, 霍尔離子源 EH400HC 条件: 110V/1.5A, 刻蚀速率 >17 Å/Sec
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鉴于信息保密. 更详细的離子源应用欢迎拨打客服热线:021-5046-3511 /  021-5046-1322

霍尔離子源 EH400HC 特性:
高离子浓度, 低离子能量
離子束涵蓋面積廣
鍍膜均勻性佳
提高鍍膜品質
模块化设计, 保养快速方便
增加光学膜后折射率 (Optical index)      
全自动控制设计, 操作简易
低耗材成本, 安装简易
 

 

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