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HVA 矩形板阀 88200 系列
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HVA 矩形板阀 88200 系列

28200&88200系列矩形真空板閥

28200&88200系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀,可靠使用寿命超过1百万次。HVA闸板阀专用于真空相关系统,起隔绝真空压力的作用。HVA真空闸板阀外形尺寸小,设计紧凑,可靠应用于生产线与过渡腔室(load-lock chamber),过渡腔室(load-lock chamber)与传输系统(handling system),传输系统(handling system)与工艺腔室(process chamber)等等,需要分隔真空压力的地方。

 

28200&88200系列矩形真空板閥产品特点

1. 超百万次可靠运行寿命

2. 不产生粉末,颗粒,防尘设计

3. 阀动作平稳,振动和冲击小

4. 标准接口,或按客户要求定制

5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理

6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下

 

28200&88200系列矩形真空板閥技术参数

連接形式:

標准或定制法蘭

主體材料:

304 不锈钢/ AM-350

公稱通徑:

DN32*222 mm-DN50*336

DN32*222 mm-DN100*1250

漏率:

2x10E-9 AtmCC/Sec

壓力範圍: 

1x10E-9 Torr

烘烤溫度:

《150℃

適用介質:

水、蒸汽、空氣

密封形式:

軟密封型

驅動方式:

氣動

使用壽命:

1000000 啓閉次數

 

28200&88200系列矩形真空板閥订货号及2D & 3D 图

DN

Model

 

 

mm

inch

Number

J (Bolted Body)

K (Clamped Body)

32 x 220

1.26 x 8.74

28212-0109RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

32 x 332

1.26 x 13.07

28212-0113RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

46 x 236

1.81 x 9.29

28212-0209RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

50 x 336

1.97 x 13.23

28212-0213RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

 

28200&88200系列矩形真空板閥部件图

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