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HVA 三位真空閘閥 真空插板阀 21700 系列
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HVA 三位真空閘閥 真空插板阀 21700 系列

美国 HVA 三位真空閘閥 21700 系列
HVA 三位真空閘閥 21700 系列适用于刻蚀、 CVD、真空镀膜和其他需要压力控制工艺的行业。HVA 三位真空閘閥與上遊質量流量控制器一起使用時,提供異常壓力控制功能,該真空閘閥也适用于从粗真空到高真空的平稳过渡。HVA 三位真空閘閥采用两个气动电磁阀和一个空气压力调节器控制阀门的3种开启方式:一个电磁阀控制阀门的完全关闭和完全开启,另一个电磁阀用于控制和调节阀门的任意开启位置。21700 系列三位真空閘閥廣泛應用于低溫泵、渦輪分子泵、離子泵及其他對清潔度要求高、低除氣的高真空行業。.
HVA 三位真空閘閥 21700 系列产品特點
1. 机械预设、遥控过渡阀位
2. 三个位置都有指示器
3. 标准或者定制法兰
4. 至少一百万使用周期
5. 任意位置安装
HVA 三位真空閘閥 21700 系列技術參數:

閥門材質:

閥門主體

304不鏽鋼

焊接波紋管軸封

AM-350

驅動軸和驅動銷

硬質不繡鋼

閥門密封方式:

高真空

氟橡膠

漏率

<2×10-9 mbar l/s

差壓關閉

1 bar

真空:

壓力範圍

高真空1x10-9 mbar

漏率

< 2x10-9  mbar l/S

差壓關閉

1 bar (任意位置)

開啓前最大壓力

≤ 30 mbar

烘烤溫度(不含電磁閥):

閥門主體

150 °c

驅動方式

气动 60 °c

使用壽命:100,000啓閉次數

公稱通徑:DN100-320 mm


HVA 三位真空閘閥 21700 系列訂貨號及2D,3D展示圖

DN

Model

KF/ISO-F

ISO-K

CF-F*

mm

inch

Number

3 (Bolted)

6 (Clamped)

0 or 4 (Conflat)

100

4.00

21712-040_R

2D

3D

2D

3D

2D

3D

160

6.00

21712-060_R

2D

3D

2D

3D

2D

3D

200

8.00

21712-080_R

2D

3D

2D

3D

2D

3D

250

10.00

21712-100_R

2D

3D

-

2D

3D

320

12.00

21712-120_R

2D

3D

-

2D

3D

 

HVA 三位真空閘閥 21700 系列部件圖

美国 HVA 真空閥门-美國最大真空閥门制造商。美國HVA原裝进口真空閥门,超過50年的高真空和超高真空閥门設計與制造。主營高真空閘閥高真空角閥廣泛應用于半導體、鍍膜、激光、科研、工業等領域。上海伯東是美國HVA 真空閥门在中國地區唯一指定總代理商
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