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HVA 真空層流閘閥 13000系列
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HVA 真空層流閘閥 13000系列

13000系列真空層流真空閘閥

13000系列層流閘閥真空閘閥以一个层流端口嘴为特征, 这样可以有效的从气流中密封阀动装构. 为了额外的保护,在阀体上部和下部都有安装净化清洗流道以使惰性气体流入来防止工业废气进入这些地方. 另一个特点是有一个正面的关闭装置使这个真空閥门真空閘閥可以保持密封的完整性, 甚至在遇到动力随着压力下降而损失的时候.

两个分开的支架可以实现100%电导(全开)或者0%电导(全关). 在打开的位置,一个流孔从流动路程和所有内部部件是隔离开的。这个孔口提供了一个通过发力的清洁的连续的流动路程并且减少了和任何一个阀体装置的工业废气接触. 关闭位置使用一个传统的密封胶圈以产生1x10E-9Torr的真空密封. 线性驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器并且减少旋转密封圈的必要性。独特的气缸设计使冲击和振动减少到最小. 此设计非常有益于半导体制造和其他敏感加工工业要求操作时相对自由振动的.

这个HVA 不鏽鋼阀门真空閘閥提供了的业界最小的接口. 阀体和所有主要内部部件在1100 ℃, 1x10E-6Torr的真空炉中焊接的, 确保了最大的完整性. 这就减少在传统的焊接波纹管阀门里发现的虚漏和缺陷了. 在保养方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空閘閥從整個系統中拆卸出來。

 

13000系列層流真空閘閥産品特點

1. 氣動驱动

2. 不鏽鋼焊接波纹管

3. 标准或者定制法兰

4. 电磁阀控制并带有手动超控

 

13000系列層流真空閘閥産品規格

連接形式:

標准或定制法蘭

主體材料:

不鏽鋼

公稱通徑:

DN40-DN300 mm

漏率:

2x10E-10 AtmCC/Sec

壓力範圍: 

1x10E-9 Torr

烘烤溫度:

《200℃

適用介質:

水、蒸汽、空氣、高腐蝕氣體

密封形式:

軟密封型

驅動方式:

氣動

使用壽命:

視系統而定

 

13000系列層流真空閘閥産品應用

層流閘閥真空閘閥可以用在蚀刻,化学蒸汽沉积等其他要用高腐蚀气体,可能损坏其他阀门的加工中。标准真空閥门真空閘閥不可能承受不断的工业废气侵入. 广泛的半导体应用已经证明这些高真空閥门真空閘閥是過程工藝系統的一筆寶貴財富.

 

13000系列層流真空閘閥産品部件圖

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