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射频離子源 RFICP 220
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射频離子源 RFICP 220

KRI 射频離子源 RFICP 220
上海幸运飞艇网站代理美国原装进口 KRI 射频離子源 RFICP 220 高能量栅极離子源,适用于离子溅镀,离子沉积和离子蚀刻. 在离子束溅射工艺中, 離子源 RFICP 220 配有离子光学元件,可以很好的控制离子束去溅射靶材, 实现完美的薄膜特性. 同样的在离子束辅助沉积和离子束刻蚀工艺中, 最佳的离子光学元件能够完成发散和聚集离子束的任务. 标准配置下離子源 RFICP 220 离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 800 mA.

KRI 射频離子源 RFICP 220 技術參數:

型號

RFICP 220

供電

RF 射频感应耦合

 - 阴极灯丝

-

 - 射频功率

2 KW

電子束

OptiBeam™

 - 栅极

專用,自對准

 -柵極直徑

22 cm

中和器

LFN 2000

電源控制

RFICP 1510-2-10-LFNA

配置

-

 - 阴极中和器

LFN2000 or MHC1000 or RFN

 - 安装

移動或快速法蘭

 - 高度

11.8'

 - 直径

16.1'

 - 离子束

聚焦
平行
散設

 -加工材料

金屬
電介質
半導體

 -工藝氣體

惰性
活性
混合

 -安裝距離

8-45”

 - 自动控制

控制4種氣體

* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量

KRI 考夫曼離子源 RFICP 220 应用领域:
預清洗
表面改性
輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD,
溅镀和蒸发镀膜 PC
离子溅射沉积和多层结构 IBSD
离子蚀刻 IBE

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