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上海伯東美國 HVA 真空插板閥在半導體管道中的應用
半导体后端工艺制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊气体, 气体管路系统 ( 真空管路 ) 的作用是把各种气体在满足工艺制程要求的纯度, 压力和流量的前提下安全稳定的供应到工艺设备内. 上海伯東美國 HVA 插板閥广泛用于高真空或超高真空的气体输送环节, 用来改变气流方向, 调节气流量大小, 切断或接通管路, 起到真空隔离密封等作用. 美國 HVA 6寸, 8寸 真空插板閥已广泛应用于半导体气体管路中! 

                                 半導體管道插板閥应用示意图                                                                          现场图

真空插板閥

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上海伯東是美國 HVA 插板閥在中國地區唯一指定總代理商.

上海伯東美國 HVA 插板閥優勢
1. 满足高真空(1E10-9  mabr)和超高真空(1E10-10 mbar)应用
2. HVA 插板閥口径 DN 16 至 800 mm
3. 坚固耐用, 超长使用寿命, 可达 1,000,000 启动次数
4. 清洁和高密封性保证 HVA 插板閥与前级泵, 涡轮分子泵等完美联用
5. 双向密封,最小漏率 < 2x10-9  mbar l/S
6. 可选择驱动方式多, 手, 气,电动可选
7. 有效保护分子泵. 气动和电动插板閥均带信号反馈装置, 与分子泵和腔体连用时可以起到截断一些特殊气体, 保护分子泵的作用
8. 标准或定制法兰满足不同应用
9. 国际标准, 插板閥整机美國设计, 制造, 组装, 原装进口

美國 HVA 超过 40年的阀门研发生产经验, 与友厂对比, HVA 插板閥阀体和部件均是在真空炉中一体钎焊完成, 消除了虚漏的可能.

美國 HVA 插板閥主要型號

HVA 真空插板閥
HVA 11000 系列
不锈钢插板閥

HVA 真空插板閥
HVA 21200 系列
不锈钢插板閥

HVA 真空闸阀
HVA 21700 系列
不鏽鋼三位閘閥

HVA 真空插板閥
HVA 71000 系列
不锈钢插板閥

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