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新品上市

上海幸运飞艇网站德国 Pfeiffer 新推出离子注入系统专用渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT.
在离子注入系统中, 氢气等小分子气体的抽速非常重要, 此款渦輪分子泵精巧的转子设计保证小分子气体绝佳的抽速, 确保了针对离子注入工艺的最佳工艺适应性, 渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 针对氢气抽速高达 2600 l / s, 是同级别分子泵中佼佼者.

渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 采用智能温度管理系统, 减少泵系统内部的工艺冷凝和沉积, 该系统允许单独设置温度, 确保渦輪分子泵能够最佳地适应工艺需求. 镀镍转子确保泵本身耐用性.

渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 産品優勢
1. 氢气抽速高达 2600 l / s
2. 镀镍转子更耐用
3. 采用智能温度管理系统,能自适应工艺条件, 减少泵内冷凝和沉积
4. 使用寿命更长
渦輪分子泵 HiPace 2800
渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 適用領域: 离子注入机, 苛刻工艺

渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 主要技術參數

進氣法蘭

抽速 l/s

壓縮比

在全轉速情況下
气流量 hPa l/s

極限壓力

DN 250 ISO-F

氮气 2,300
氩气 2,100
氦气 2,900
氢气 2,600

氮气 > 1X108

氩气> 1X108

氦气 6X104

氢气 4X103

氮气 16
氩气 11

氦气 50

氢气 24

< 1X10-7 hPa


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